雙光路掃描成像系統                                                                         

雙光源雙探測四路成像系統可供用戶靈活應對跨尺度跨密度樣品的成像應用方案。 

靈活多變的掃描模式 

nanoVoxel3000系列擁有螺旋掃描、有限角度掃描、錐束掃描等多種靈活多變的掃描模式，配合相應先進的重建方法，可非破壞性的清晰還原高縱橫比的PCB板和半導體封裝電子器件等扁平狀樣品的內部結構，對產品質量做出有效評價，并大大節約測試時間，提高工作效率。

寬視場拼接掃描技術        

具有寬視場橫向、縱向拼接模式，可實現兩次掃描投影的拼接并自動完成圖像重構，擴展成像視野，輕松實現了大尺度樣品微納米分辨率三維成像。

高精度氣浮轉臺和納米位移平臺   

實現納米級別的徑跳/端跳誤差和運動精度，確保測試過程中樣品的穩定性，保證高清晰度的圖像質量。同時具備樣品移動自適應校正功能，有效減少因樣品掃描過程中移動、變形等情況導致的重構效果不佳。